嘉興科民公司高端ALD力助復旦科學家實現重大原始創(chuàng)新
發(fā)布時間:
2012/10/20
2013-08-12新聞聯播：我國科學家實現微電子領域重大原始創(chuàng)新，復旦大學張衛(wèi)團隊成功研發(fā)半浮柵晶體管（SFGT），該結果發(fā)表在國際最權威的《科學》雜志上。
2013-08-12新聞聯播：我國科學家實現微電子領域重大原始創(chuàng)新，復旦大學張衛(wèi)團隊成功研發(fā)半浮柵晶體管（SFGT），該結果發(fā)表在國際最權威的《科學》雜志上。半浮柵晶體管可在多類產業(yè)中應用，潛在市場規(guī)模達到300億美元以上。更令國人振奮的是，半浮柵晶體管中關鍵柵隔離介質是在我國自主研發(fā)生產的儀器設備上成功完成的（嘉興科民公司的ALD設備）。該設備由中科院微電子研究所夏洋團隊研發(fā)成功（重大科技專項），與嘉興科民電子公司聯合進行開發(fā)生產，具有國際領先的性能，已銷往北大、復旦、西安電子科大、南大等多家科研機構及出口美國。該成果表明我國在微電子領域已打破了我國在高端儀器設備受制于人的局面，具備自主開發(fā)高端設備，創(chuàng)造重大原創(chuàng)突破的能力。
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